激光外差干涉仪

作品数：20被引量：45H指数：4
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激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用被引量：2
《应用激光》2016年第1期96-101,共6页柯有龙 侯文玫 句爱松 杨卫 罗佳林 
沪江基金资助项目(项目编号:C14002)
为了实现工业中较大直线位移上的滚转角快速测量,设计了一种基于激光外差干涉技术的几何空间对称四光路滚转角测量系统,并针对缺少滚转参数的较大行程位移台,进行了滚转特性测量试验。试验证明,几何空间对称四光路滚转角测量系统稳定性...
关键词：外差干涉 滚转角误差 对称光路 滚珠丝杠 
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