极性半导体

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半导体材料
《电子科技文摘》2002年第7期8-9,共2页
Y2002-63084-209 0212497Cu/Cr,Cu/V 和 Cu/Ta 多层中 Cu 的自对准钝化=Selfaligned passivation of Cu in Cu/Cr,Cu/V,and Cu/Tamultilayers[会,英]/Iraji-Zad,A.& Vashaei,Z.//ICM2000 Proceedings of the Twelfth International Conf...
关键词:半导体材料 自对准 极性半导体 半导体表面 扩散势垒 技术研究报告 PROCEEDINGS 通信学会 绝缘膜 异质外延 
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