云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 集成电路工艺

集成电路工艺: 作品数：155被引量：180H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：王灯山朴林华朴然朱自强郁可更多>>; 相关机构：中国科学院清华大学复旦大学电子科技大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划上海市教育委员会创新基金浙江省自然科学基金更多>>

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200MHz高传输效率薄膜变压器的设计与制备: 《传感技术学报》2006年第05B期1959-1962,共4页郑梁秦会斌胡冀徐军明叶丽云刘建; 浙江省自然基金项目;模拟集成电路国家重点实验室基金资助(Z104621;Y105176); 实现了一种新型的基于硅IC工艺的微波铁氧体集成薄膜变压器．铁氧体薄膜采用射频磁控溅射法制备，SEM观察了SiO2层上铁氧体膜的表面形貌，表明薄膜容易开裂；能谱仪对薄膜成分的分析表明铁氧体薄膜与SiO2层和Al膜附着性差．通过溅射工...; 关键词：薄膜变压器集成电路工艺微波铁氧体

射频集成化薄膜电感的设计和制备: 《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》2005年第6期6-9,共4页郑梁史东强秦会斌; 浙江省自然科学基金项目(Z104621);模拟集成电路国家重点实验室基金项目; 介绍了一种新型的基于硅IC模拟电路工艺的射频集成薄膜电感。描述了集成薄膜电感的工作原理。采用一个紧凑集总电路模型来等效模拟集成化电感的电路效应。结合硅基模拟IC工艺技术,采用磁性材料薄膜层的设计,给出薄膜电感工艺流程,制备...; 关键词：射频集成化薄膜电感集成电路工艺工作原理模拟电路阻抗特性

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