集成电路器件

作品数：32被引量：30H指数：2
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KLA—Tencor以全新测量系统扩充其5D^TM图型控制方案
《中国集成电路》2015年第4期8-8,共1页
日前，KLA—Tencor推出两款量测系统，可支持16nm及以下尺寸集成电路器件的开发和生产：ArcherTM500LCM和SpectraFilmTMLD10。Archer500LCM套刻测量系统在提升成品率的所有阶段提供了准确的套刻误差反馈，可帮助芯片制造商解决新的图型...
关键词：测量系统 KLA 控制方案 系统扩充 TM图 集成电路器件 薄膜厚度 芯片制造商 
横河电机ATE事业介绍
《中国集成电路》2006年第2期14-14,共1页
关键词：横河电机公司 SOLUTION ATE Test 事业 集成电路器件 大规模集成电路 测试设备 Sensor IMAGE 
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