加速度开关

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MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验
《机电工程》2019年第2期197-200,共4页丁丽梅 李世中 段荣杰 杨乐 
针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题,以MEMS加速度开关为研究对象,利用ANSYS有限元分析软件,采用"扭梁-悬臂梁-质量块"结构作为MEMS加速度开关主要作用部分,建立了开关的有限元模型。对MEMS加速度开关3个方向上的跌落冲击情况进行...
关键词：微机电系统 加速度开关 冲击载荷 失效仿真 锤击试验 
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