隔膜阀

作品数：113被引量：64H指数：5
导出分析报告
相关领域：机械工程更多>>
相关作者：孙建海王伟苏小军佟毅张金津更多>>
相关机构：株式会社富士金上海阀门五厂有限公司SMC株式会社应用材料股份有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=液压与气动x
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述被引量：5
《液压与气动》2022年第5期1-17,共17页杨津宇 杨军 白晓蓉 任政钢 刘成卫 龚轩 胡亮 阮晓东 
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制...
关键词：半导体 湿法制程 超洁净流控 磁悬浮泵 波纹管泵 隔膜阀 超声波流量传感器 
不同驱动方式下超纯水隔膜阀阀口流动特性研究被引量：3
《液压与气动》2022年第5期18-25,共8页闵为 米智强 李成 王卓锋 胥敏 
国家自然科学基金(52165007)。
隔膜阀由于结构简单、密封性好、耐腐蚀和耐磨损等特点被广泛应用于流体控制系统中。超纯水隔膜阀隔膜一般由PTFE或PFA材料制成,在不同驱动方式的作用下隔膜产生不同程度的变形,从而导致阀口流动特性呈现明显差异。采用流固耦合的计算方...
关键词：超纯介质 隔膜阀 COMSOL 数值计算 
基于应力均匀化的超纯水隔膜阀隔膜优化被引量：5
《液压与气动》2021年第12期129-133,共5页闵为 李成 王金林 段沛 霍为佳 
超纯水隔膜阀具有结构简单、耐化学腐蚀、低离子析出等优点,多用于半导体行业,隔膜的疲劳破损是影响隔膜阀寿命和设备可靠性的关键性能指标。通过COMSOL模拟了隔膜启闭过程中的应力变化情况,并详细分析了隔膜工作时的受力特点。结果表明...
关键词：超纯水隔膜阀 应力均匀化 疲劳寿命 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部