阮晓东

作品数：43被引量：192H指数：9
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发文主题：磁悬浮血泵转子核主泵阀芯更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术化学工程理学更多>>
发文期刊：《包装与食品机械》《核动力工程》《化工学报》《热力发电》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划浙江省自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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大功率磁悬浮泵宽流道叶轮的水力性能分析
《液压与气动》2024年第3期91-98,共8页白晓蓉 胡亮 阮晓东 苏芮 傅新 
浙江省“尖兵”计划项目“高端半导体装备超洁净泵的研发与应用”(2023C01015)。
磁悬浮泵将磁悬浮电机与泵体结构一体化,利用磁场驱动叶轮旋转,并对其余5个自由度进行主/被动悬浮约束,从而实现完全无轴承的介质泵送,被广泛用于半导体制造等领域的电子化学品超洁净输送。目前,大功率磁悬浮泵产品存在泵送效率低的问题...
关键词：磁悬浮泵 宽流道 水力效率 轴向力 径向力 
超洁净磁悬浮针阀设计与仿真优化
《液压与气动》2023年第12期34-40,共7页龚轩 刘明潇 胡亮 阮晓东 苏芮 傅新 
国家自然科学基金(52075475);浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划(2023C01015)。
为了满足半导体加工等行业的超洁净流控要求,设计了一种超洁净磁悬浮针阀。超洁净磁悬浮针阀以超洁净氟塑料裹覆永磁体为阀芯,以电磁铁为外部驱动,利用磁悬浮原理实现阀芯的无接触控制。阐述了该磁悬浮针阀的工作原理,通过仿真计算,提...
关键词：半导体 超洁净 针阀 磁悬浮 
凹坑叶片对前置机架轴流风机的性能影响研究被引量：4
《风机技术》2023年第1期16-23,共8页张旭 龚玉祥 郭荣荣 黄峰 阮晓东 
浙江省自然科学基金(LY20E050013);国家自然科学基金创新研究群体基金项目(51821093)。
受高尔夫球表面凹坑减阻设计启发,本文研究了在风机叶片表面制造小凹坑来提高风机的气动性能。本研究通过数值计算和实验测试对比了原型叶片和凹坑叶片对8038前置电机架轴流风机的气动性能的影响。数值结果表明:前置电机架使得叶轮流道...
关键词：轴流风机 凹坑叶片 压力脉动 噪声 
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述被引量：5
《液压与气动》2022年第5期1-17,共17页杨津宇 杨军 白晓蓉 任政钢 刘成卫 龚轩 胡亮 阮晓东 
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制...
关键词：半导体 湿法制程 超洁净流控 磁悬浮泵 波纹管泵 隔膜阀 超声波流量传感器 
超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响被引量：3
《液压与气动》2022年第5期26-35,共10页颖惠民 付婧媛 刘范 苏芮 阮晓东 
国家自然科学基金(52105071);中央高校基本科研业务费专项资金(2021QNA4002)。
聚四氟乙烯(PTEE)是超洁净流控元件的主要材料之一。针对聚四氟乙烯机械加工后的表面粗糙度问题,从改变进给量及车刀材料选择和切削液是否使用的角度探究机械加工PTFE表面形貌的形成机理,发现了随着车刀停留时间的增加,PTFE表面粗糙度...
关键词：PTFE 车削 表面形貌 粗糙度 
浸没式光刻机浸液系统污染控制研究现状及进展被引量：2
《激光与光电子学进展》2022年第9期244-257,共14页付婧媛 苏芮 阮晓东 付新 
国家自然科学基金(52105071);中央高校基本科研业务费专项资金(2021QNA4002)。
浸没式光刻是实现5 nm以上线宽高性能超大规模集成电路产品制造的关键技术。相比传统干式光刻,浸没式光刻需在末端物镜和硅片之间填充浸没液体。浸没液体的高折射率可以提高光刻机的数值孔径和曝光分辨率,但也对浸没式光刻的污染控制提...
关键词：浸没式光刻机 浸没系统 污染机理 污染检测 污染控制 
基于主动转速调制的离心旋转血泵流场分析被引量：2
《中国机械工程》2021年第24期2915-2923,共9页黄峰 王楚晨 阮晓东 
浙江省自然科学基金(LY20E050013);国家自然科学基金(51505455);流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金(GZKF-201713)。
为研究血泵主动转速调节对血泵内部流场以及血液损伤的影响,采用计算流体动力学(CFD)方法模拟血泵在转速调制下的全流道内部流动。通过集总心血管系统数学模型和旋转血泵模型的联合数值模拟得到血泵辅助条件下的心室和主动脉压力,并设...
关键词：旋转血泵 计算流体动力学 转速调制 心血管系统 脉动性指数 
带分流叶片混流式水泵非定常流动特性研究被引量：7
《农业机械学报》2021年第11期153-160,共8页张旭 王鹏飞 阮晓东 
国家重点基础研究发展计划项目(2015CB057301);国家自然科学基金创新研究群体项目(51821093);四川省应用基础研究计划项目(2019YJ0681);自贡市重点科技计划项目(2017JZ20)。
为研究在流固耦合作用下分流叶片对混流式水泵的性能影响,以某型号的大流量混流式水泵作为研究对象,采用双向流固耦合方法和动网格变形技术对有/无分流叶片混流泵进行流场和结构场计算。对比分析了有/无分流叶片对混流泵非定常流动特性...
关键词：混流式水泵 分流叶片 流固耦合 压力脉动 非定常流动 
协同流动对台阶乳化生成Janus液滴的影响研究
《分析化学》2020年第1期57-65,共9页连娇愿 郑素霞 许忠斌 阮晓东 
国家自然科学基金项目(No.21676244)资助~~
连续相协同流动可增加台阶乳化的通量和控制灵活性,对液滴微流控有重要影响。本研究搭建了多通道台阶乳化装置制备Janus液滴,研究协同流动对Janus液滴生成的影响。首先,制备并优化多通道台阶乳化芯片,实现了Janus液滴的稳定生成。其次,...
关键词：协同流动 微流控 Janus液滴 台阶乳化 化学化工 分析检测 
蒸汽发生器致畸变入流对核主泵流动性能的影响被引量：7
《浙江大学学报（工学版）》2019年第11期2076-2084,共9页王悦荟 刘聪 王鹏飞 许忠斌 阮晓东 付新 
国家“973”重点基础研究发展规划资助项目(2015CB057301);浙江省自然科学基金资助项目(LQ18E060002)
为了探究由蒸汽发生器(SG)引起的畸变入流对核主泵(RCP)流动性能的影响,采用计算流体力学方法,建立核主泵与下封头的联合计算模型;利用多参考坐标系模型和滑移交界面技术,开展运行工况下的全三维稳态和瞬态数值模拟;采用入流畸变度和平...
关键词：核主泵 蒸汽发生器 畸变入流 湍动能 计算流体力学(CFD) 
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