付婧媛

作品数：3被引量：7H指数：2
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发文主题：清洗机器人水射流光滑壁面活塞缸滑块更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《液压与气动》《激光与光电子学进展》更多>>
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超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响被引量：3
《液压与气动》2022年第5期26-35,共10页颖惠民 付婧媛 刘范 苏芮 阮晓东 
国家自然科学基金(52105071);中央高校基本科研业务费专项资金(2021QNA4002)。
聚四氟乙烯(PTEE)是超洁净流控元件的主要材料之一。针对聚四氟乙烯机械加工后的表面粗糙度问题,从改变进给量及车刀材料选择和切削液是否使用的角度探究机械加工PTFE表面形貌的形成机理,发现了随着车刀停留时间的增加,PTFE表面粗糙度...
关键词：PTFE 车削 表面形貌 粗糙度 
浸没式光刻机浸液系统污染控制研究现状及进展被引量：2
《激光与光电子学进展》2022年第9期244-257,共14页付婧媛 苏芮 阮晓东 付新 
国家自然科学基金(52105071);中央高校基本科研业务费专项资金(2021QNA4002)。
浸没式光刻是实现5 nm以上线宽高性能超大规模集成电路产品制造的关键技术。相比传统干式光刻,浸没式光刻需在末端物镜和硅片之间填充浸没液体。浸没液体的高折射率可以提高光刻机的数值孔径和曝光分辨率,但也对浸没式光刻的污染控制提...
关键词：浸没式光刻机 浸没系统 污染机理 污染检测 污染控制 
水射流抽气式清洗机器人被引量：2
《液压与气动》2009年第10期42-45,共4页刘季霖 童章谦 付婧媛 林显克 邹俊 顾大强 
该文介绍了一种水射流抽气式清洗机器人,该机器人以清洗用水作为唯一的动力源,利用水射流所产生的负压特性实现机器人在清洗壁面上的吸附,利用水压驱动的活塞附以连杆机构实现机器人的直行、转弯等爬行动作,并利用水浸式超声波去污原理...
关键词：机器人 清洗 射流 超声波 
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