傅新

作品数:128被引量:1015H指数:15
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发文主题:光刻机浸没光刻系统气穴流场更多>>
发文领域:机械工程电子电信一般工业技术理学更多>>
发文期刊:《机械工程学报》《高等学校化学学报》《混凝土》《流体机械》更多>>
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基于温度梯度衰减器的高精度温度控制系统
《液压与气动》2024年第11期46-52,共7页彭杰峰 胡亮 申英男 苏芮 傅新 
浙江省自然科学基金重大项目(LD24E050008);中央高校基本科研业务费专项(226-2024-00155)。
面向半导体制造装备等精密设备和仪器的高精度温控需求,提出了一种基于温度梯度衰减器的高精度温度控制系统。首先,将加热器作为温度调节器,实现对低频温度扰动的补偿;并且,利用温度梯度衰减器的流动混合机制,实现对流体温度高频扰动的...
关键词:高精度温控 温度梯度衰减器 模型预测控制 
大功率磁悬浮泵宽流道叶轮的水力性能分析
《液压与气动》2024年第3期91-98,共8页白晓蓉 胡亮 阮晓东 苏芮 傅新 
浙江省“尖兵”计划项目“高端半导体装备超洁净泵的研发与应用”(2023C01015)。
磁悬浮泵将磁悬浮电机与泵体结构一体化,利用磁场驱动叶轮旋转,并对其余5个自由度进行主/被动悬浮约束,从而实现完全无轴承的介质泵送,被广泛用于半导体制造等领域的电子化学品超洁净输送。目前,大功率磁悬浮泵产品存在泵送效率低的问题...
关键词:磁悬浮泵 宽流道 水力效率 轴向力 径向力 
超洁净磁悬浮针阀设计与仿真优化
《液压与气动》2023年第12期34-40,共7页龚轩 刘明潇 胡亮 阮晓东 苏芮 傅新 
国家自然科学基金(52075475);浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划(2023C01015)。
为了满足半导体加工等行业的超洁净流控要求,设计了一种超洁净磁悬浮针阀。超洁净磁悬浮针阀以超洁净氟塑料裹覆永磁体为阀芯,以电磁铁为外部驱动,利用磁悬浮原理实现阀芯的无接触控制。阐述了该磁悬浮针阀的工作原理,通过仿真计算,提...
关键词:半导体 超洁净 针阀 磁悬浮 
永磁体内嵌式超洁净阀及其优化设计方法被引量:5
《液压与气动》2021年第3期33-39,共7页刘明潇 胡亮 傅新 
面向半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流控需求,提出了一种新的永磁体内嵌式超洁净阀结构。将永磁体嵌入超洁净材料(如超纯全氟树脂)所制的阀芯内,通过阀腔外部的永磁体驱动阀芯启闭,从而实现液体介质的超洁净控制。阐述了...
关键词:半导体 超洁净  永磁体内嵌 
超声波体积流量计声场混合计算方法被引量:3
《浙江大学学报(工学版)》2020年第8期1466-1473,1480,共9页赵楠楠 胡亮 毛凯 陈文昱 傅新 
国家自然科学基金资助项目(51821093)。
超声波体积流量计测量空间内声场分布主要由换能器性能和实际工况下的流场共同决定.在进行相关声场研究时,为了解决仅使用数值法难以对实际换能器重要计算参数进行准确建模的问题,提出联合测量边界条件和数值法的混合计算方法对声场进...
关键词:气体超声体积流量计 换能器 声场 流场 测量边界条件 
再生粗骨料性能指标及其线性拟合适用性讨论被引量:4
《混凝土》2017年第10期118-122,共5页刘思含 钱晓倩 傅新 童彦伟 任谦 
采用试验方法测试了再生骨料与天然骨料的经时吸水率,揭示了再生骨料的吸水率相对天然骨料更高,且天然骨料的吸水率在短时间内可以达到平稳,而再生骨料的吸水率在24 h后仍然在缓慢增加。并且利用再生粗骨料取代部分天然骨料的方式配置...
关键词:再生骨料 混合定律 线性拟合 吸水率 
夏热冬冷地区采暖空调计算期确定方法被引量:5
《浙江大学学报(工学版)》2017年第4期729-738,共10页傅新 钱晓倩 钱匡亮 董凯 阮方 
国家"十二五"科技支撑计划资助项目(2013BAL01B01)
基于1971年至2003年的大量实测气象数据,通过对夏热冬冷地区20个典型城市的气候条件分析,揭示了各城市在最冷(热)月平均温度及日较差、日均温度≤5℃(≥25℃)的天数和采暖、空调度日数等方面存在巨大差异.探讨现有标准规定的3套计算期...
关键词:夏热冬冷地区 气候差异 计算期 气象数据 离散性分析 能耗模拟 
科氏流量计测量管固有频率在线预测方法被引量:5
《计量学报》2017年第3期328-332,共5页金艳 王利军 胡亮 徐婵娜 崔晓军 傅新 
浙江省教育厅2015年度高校国内访问工程师校企合作项目(214);浙江省科技计划项目(2014C32031)
提出了一种基于幅值变化期信号特征参数识别的科氏流量计测量管固有频率在线预测方法,该方法对测量管固有频率变化时引发的过渡期振动信号进行两次整周期采样,进而通过傅里叶变换获得反映所采样信号特征的虚部与实部参数,并根据所建立...
关键词:计量学 科氏质量流量计 测量管 固有频率 在线预测 
人行为模式对外墙内外保温节能效果的影响被引量:12
《哈尔滨工业大学学报》2017年第2期109-115,共7页阮方 钱晓倩 钱匡亮 傅新 
"十二五"国家科技支撑计划(2012BAJ12B02)
针对现行夏热冬冷地区居住建筑节能设计标准中规定的连续用能方式与该地区实际用能情况存在严重偏离的问题,在该气候区典型城市杭州开展居民空调用能行为的问卷调研,发现本地区居住建筑普遍具有间歇用能的特点,空调开启行为受人体热感...
关键词:夏热冬冷 居住建筑 外保温 内保温 间歇用能 容忍温度 
某地区窗墙比对办公建筑能耗的影响被引量:2
《低温建筑技术》2016年第8期141-144,共4页朱耀鑫 傅新 阮方 钱晓倩 
"十二五"国家科技支撑计划课题"基于实际用能状况的建筑节能模拟软件开发及应用"(2012BAJ12B02)
选取了杭州市一幢实际的办公建筑,采用DEST软件建立模型,分析了在杭州地区考虑采光性能和在人员作息的影响下,办公建筑综合能耗随着窗墙比增大而变化的规律。结果发现,空调能耗随着窗墙比的增大而线性增大,照明能耗随着窗墙比的增大而减...
关键词:办公建筑 综合能耗 夏热冬冷地区 
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