固相外延生长

作品数：9被引量：6H指数：1
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相关领域：电子电信理学更多>>
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材料制备工艺
《电子科技文摘》1999年第4期43-44,共2页
9904617横向固相外延生长及其影响因素的研究[刊]/罗南林 //半导体技术.—1998,23(5).—51～53(DC)9904618SiC 晶体生长和应用[刊]/邓志杰//半导体技术.—1998,23(5).—13～17(DC)
关键词：制备工艺 半导体技术 固相外延生长 晶体生长 影响因素 材料 应用 研究进展 薄膜 纳米微晶 
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