光波导薄膜

作品数：22被引量：62H指数：6
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溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究被引量：8
《光子学报》2004年第9期1140-1143,共4页姜永睿 胡雄伟 杨沁清 王红杰 杨澜 郑金红 谢二庆 
国家自然科学基金 (批准号 :6 988970 1);国家重点基础研究发展规划 (No.G2 0 0 0 0 36 6 0 2 )资助项目
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为 15 0 0 的二氧化硅 ;样品...
关键词：光敏性溶胶一凝胶 SIO2薄膜 折射率 红外光谱 波导 
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