光波导薄膜

作品数：22被引量：62H指数：6
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无水溶胶-凝胶法制备TiO2-有机硅杂化光波导薄膜(英文)
《稀有金属材料与工程》2012年第S3期56-59,共4页徐真武 徐键 M.Barj 
Ministry of Science and Technology(2006DFA52910);Scientific&Technological Bureau of Ningbo(2008B10042,2009B21007);K.C.Wong Magna Fund in Ningbo University
采用无水溶胶-凝胶法合成了新型的TiO2/有机硅杂化材料,得到的低-OH含量的光学薄膜适合应用于光波导、光集成器件和光传感器等领域。以二苯基二羟基硅烷(Diphenylsilanediol,DPSD)、钛酸丁酯(tetrabutoxytitanate,TBT)和γ-甲基丙烯酰氧...
关键词：无水溶胶-凝胶 有机-无机杂化 平板波导 
无水溶胶-凝胶法制备有机-无机杂化光波导薄膜
《硅酸盐学报》2011年第4期606-610,共5页徐真武 剪明明 徐键 徐清波 孙广清 
科技部国际科技合作重点项目(2006DFA52910);宁波市科技项目(2008B10042;2009B21007);宁波大学王宽诚幸福基金资助项目
以二苯基二羟基硅烷(diphenylsilanediol,DPSD)和γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(γ-Methacryloxypropyl trimethoxy silane,MAPTMS)为前驱体,用无水溶胶-凝胶法合成出有机-无机杂化材料,将其旋涂在硅基片和石英玻璃片上得到杂化光...
关键词：有机-无机杂化 光学薄膜 无水溶胶-凝胶法 
射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜被引量：11
《山东建筑大学学报》2010年第1期10-13,共4页李爽 王凤翔 付刚 季艳菊 赵俊卿 
山东省中青年科学家科研奖励基金项目(2006BSB01447);山东省自然科学基金项目(ZR2009FM031)
采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备出了具有高度c轴择优取向的ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、背散射分析(RBS)、棱镜耦合等技术对其结构、光波导性质进行研究,结果表明减小溅射压强有利于提高薄膜的结晶质量,增强薄膜的c轴择优取向...
关键词：ZNO薄膜 射频磁控溅射 光波导 X射线衍射 
溶胶-凝胶法在平面光波导薄膜制备中的应用被引量：1
《压电与声光》2008年第5期594-597,共4页王宝玲 胡丽丽 张丽艳 
浙江省教育厅一般基金资助项目(20060533)
溶胶-凝胶技术作为一种湿化学法具有工艺温度低、化学均匀性好、易实现材料的掺杂等独特的优点,平面光波导薄膜是制备其他各种波导和集成光学器件的基础。近年来,采用溶胶-凝胶技术制备平面光波导薄膜已成为研究热点。该文综述了溶胶-...
关键词：溶胶-凝胶 光波导薄膜 有机硅酸盐 非水解 
有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征被引量：1
《半导体光电》2007年第4期525-527,共3页王玥 吴远大 李建光 王红杰 胡雄伟 
国家自然科学基金资助项目(60507006;60477035)
采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取...
关键词：溶胶-凝胶 杂化 SIO2 光波导 
溶胶-凝胶法稀土平面光波导薄膜研究进展被引量：6
《材料导报》2006年第6期14-17,共4页赵凤刚 汪国年 胡丽丽 
国家自然科学基金项目资助(GrantNo.50402007)
简单介绍了溶胶-凝胶方法的特点、平面光波导的基本结构及工艺特点;简要回顾了国内外近年来无机薄膜、复合薄膜、稀土配合物在工艺、合成、性能、机理等方面的研究情况。与传统的无机平面光波导薄膜相比,有机-无机复合薄膜具有明显的优...
关键词：溶胶-凝胶法 稀土配合物 光波导薄膜 进展 
不同激发条件下SiO_2∶Tb^(3+)溶胶-凝胶光波导薄膜玻璃的荧光特性被引量：2
《中国稀土学报》2005年第S2期38-41,共4页侯嫣嫣 林海 杨殿来 马铁成 
大连市科学技术基金;大连轻工业学院海外引进人才启动基金
采用溶胶-凝胶法,制备了Tb3+掺杂的二氧化硅光波导薄膜和玻璃,采用扫描电子显微镜(SEM)对光波导薄膜层进行了表征。SEM观察结果表明,经三层涂覆的薄膜厚度达到1.5μm,多层涂覆对薄膜厚度的调节作用明显,有利于满足模式传输的要求。测试...
关键词：Tb3+离子 溶胶-凝胶 光波导薄膜 荧光光谱 稀土 
厚二氧化硅光波导薄膜的制备被引量：2
《激光与光电子学进展》2005年第5期48-50,55,共4页包洪涛 戴基智 杨亚培 赵天卓 佟会 罗辉 
随着光通信的飞速发展,Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛。在Si基上制备高质量的厚SiO2 薄膜,是制作SiO2光波导及其集成器件的基础。本文介绍了Si基厚SiO2薄膜的几种制备方法。
关键词：光波导薄膜 二氧化硅 SIO2薄膜 集成器件 平面光波导 SI基 制备方法 光通信 
纳米颗粒改性PMMA光波导薄膜的研究被引量：7
《光电子技术与信息》2005年第1期19-22,共4页肖磊 周建华 王静 王劲文 
福建省青年科技人才创新项目资金资助(2001J024)
主要研究纳米颗粒改性甲基丙烯酸甲酯预聚物(PMMA)的工艺,以及光波导薄膜的制备技术和性能。具体采用机械混合方式进行纳米颗粒掺杂和旋涂技术,旨在提高PMMA光波导层的热稳定性和折射率,并优化实验工艺条件使光波导薄膜达到透明、均匀...
关键词：聚甲基丙烯酸甲脂 光波导薄膜 纳米改性 
溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究被引量：8
《光子学报》2004年第9期1140-1143,共4页姜永睿 胡雄伟 杨沁清 王红杰 杨澜 郑金红 谢二庆 
国家自然科学基金 (批准号 :6 988970 1);国家重点基础研究发展规划 (No.G2 0 0 0 0 36 6 0 2 )资助项目
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为 15 0 0 的二氧化硅 ;样品...
关键词：光敏性溶胶一凝胶 SIO2薄膜 折射率 红外光谱 波导 
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