季艳菊

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：山东建筑大学理学院更多>>
发文主题：ZNOX射线衍射光波导薄膜射频磁控溅射制备射频磁控溅射更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《山东建筑大学学报》《物理学报》更多>>
所获基金：山东省自然科学基金山东省优秀中青年科学家科研奖励基金山东建筑大学校内基金更多>>
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铒离子注入碳化硅的射程和退火行为研究被引量：2
《物理学报》2011年第6期483-487,共5页秦希峰 梁毅 王凤翔 李双 付刚 季艳菊 
山东建筑大学校内基金(批准号:XN070109);山东省自然科学基金(批准号:ZR2009FM031)资助的课题~~
用300—500keV能量的铒(Er)离子注入碳化硅(6H-SiC)晶体中,利用卢瑟福背散射技术研究了剂量为5×1015cm-2的Er离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程Rp和射程离散ΔRp,将测出的实验值和TRIM软件得到的理论模拟值进行了比较,发现Rp的实验值...
关键词：离子注入 投影射程和射程离散 退火行为 卢瑟福背散射技术 
射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜被引量：11
《山东建筑大学学报》2010年第1期10-13,共4页李爽 王凤翔 付刚 季艳菊 赵俊卿 
山东省中青年科学家科研奖励基金项目(2006BSB01447);山东省自然科学基金项目(ZR2009FM031)
采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备出了具有高度c轴择优取向的ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、背散射分析(RBS)、棱镜耦合等技术对其结构、光波导性质进行研究,结果表明减小溅射压强有利于提高薄膜的结晶质量,增强薄膜的c轴择优取向...
关键词：ZNO薄膜 射频磁控溅射 光波导 X射线衍射 
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