梁毅

作品数:4被引量:5H指数:2
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供职机构:山东建筑大学更多>>
发文主题:离子注入空气柱平面波展开法碳化硅射程更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《物理学报》《济南大学学报(自然科学版)》《山东建筑大学学报》更多>>
所获基金:山东省自然科学基金山东建筑大学校内基金博士科研启动基金山东省优秀中青年科学家科研奖励基金更多>>
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ZnO基二维光子晶体的带隙研究被引量:3
《山东建筑大学学报》2011年第2期126-129,共4页梁毅 董国艳 秦希峰 
山东省自然科学基金项目(ZR2010AM025);山东建筑大学校内博士基金项目(XNBS0903)
用平面波展开法研究以ZnO为背景介质,由周期性排列的空气圆孔柱、椭圆孔柱和正方孔柱分别构成的三角晶格结构的光子晶体,计算在不同参数条件下光子晶体的能带曲线。研究结果表明,通过调控孔柱和晶格常数的大小,可以改变光子晶体带隙位...
关键词:ZnO光子晶体 平面波展开法 空气柱 晶格常数 带隙 
铒离子注入碳化硅的射程和退火行为研究被引量:2
《物理学报》2011年第6期483-487,共5页秦希峰 梁毅 王凤翔 李双 付刚 季艳菊 
山东建筑大学校内基金(批准号:XN070109);山东省自然科学基金(批准号:ZR2009FM031)资助的课题~~
用300—500keV能量的铒(Er)离子注入碳化硅(6H-SiC)晶体中,利用卢瑟福背散射技术研究了剂量为5×1015cm-2的Er离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程Rp和射程离散ΔRp,将测出的实验值和TRIM软件得到的理论模拟值进行了比较,发现Rp的实验值...
关键词:离子注入 投影射程和射程离散 退火行为 卢瑟福背散射技术 
铒离子注入6H-SiC的横向离散研究
《物理学报》2010年第9期6390-6393,共4页秦希峰 王凤翔 梁毅 付刚 赵优美 
山东建筑大学校内基金(批准号:XN070109)资助的课题~~
利用离子注入掺杂技术设计、制作半导体集成器件时,了解离子注入半导体材料的射程分布、射程离散和横向离散规律等是很重要的.用400keV能量的铒(Er)离子分别与样品表面法线方向成0°,45°和60°倾角注入碳化硅(6H-SiC)晶体中,利用卢瑟...
关键词:离子注入 6H-SIC 卢瑟福背散射技术 横向离散 
铒离子注入碳化硅后的射程分布和射程离散
《济南大学学报(自然科学版)》2010年第2期202-204,共3页秦希峰 季燕菊 王凤翔 付刚 赵优美 梁毅 
山东省中青年科学家科研奖励基金(2006BSB01447);山东建筑大学科研基金(XN070109)
鉴于利用离子注入技术掺杂制作光电集成器件时,离子注入半导体材料的射程分布、射程离散和横向离散对器件性能的影响,应用卢瑟福背散射技术研究将剂量为5×1015cm-2的400 keV能量的Er+离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程、射程离散和深...
关键词:离子注入 6H-SIC 卢瑟福背散射技术 射程分布 
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