光波导薄膜

作品数:22被引量:62H指数:6
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非晶态SiO2过渡层上高C轴取向LiNbO3薄膜及生长机制探讨被引量:1
《科学通报》2003年第19期2031-2035,共5页何军辉 叶志镇 
国家自然科学基金重大研究计划面上项目基金(批准号:90101009);浙江省自然科学基金(批准号:502067)资助项目.
利用脉冲激光沉积(PLD)技术在单晶硅衬底的非晶态SiO_2过渡层上外延生长了具有优良结晶品质和高度C轴取向性的LiNbO_3光波导薄膜。利用X射线衍射、高分辨电子显微镜和原子力显微镜等手段对LiNbO_3薄膜的结晶品质和C轴取向性等进行了系...
关键词:铌酸锂薄膜 LiNbO3薄膜 C轴取向性 光波导薄膜 脉冲激光沉积 非晶态SiO2过渡层 生长机制 基底效应 
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