光电仪

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在线精密测量用新型光电仪
《宇航计测技术》1991年第4期19-21,共3页A.Wolthuis k.Buesing L.Bource G.Dalessi 杨光荣 
介绍一种新型高精密长度测量仪。使用一个光学自动聚焦头和一个无齿隙机械传动机构,其分辨力可达0.1μm;在40mm 测量范围内,其绝对准确度优于1μm。由于具有自动聚焦特性,它还能在线识别表面倾角和表面曲率。
关键词：光电仪 在线测量 测量 
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