光切显微镜

作品数：28被引量：72H指数：5
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关于光切显微镜的定度被引量：1
《计量与测试技术》2002年第5期11-11,共1页钱关名 
光切显微镜以光切原理为基础 ,能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题 ,是测量表面粗糙度的专用仪器之一。光切显微镜一般测量RZ值大于 0 .8μm的工件。本文主要解决在使用光切显微镜时 。
关键词：光切显微镜 表面粗糙度 定度 C值 格值 RZ值 工件 检测 
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