光子集成电路

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石墨烯-硅基混合光子集成电路
《物理学报》2017年第21期145-156,共12页肖廷辉 于洋 李志远 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB632704);国家自然科学基金(批准号:11434017)资助的课题~~
近年来硅基光子学已经慢慢走向成熟,它被认为是未来取代电子集成电路,实现下一代更高性能的光子集成电路的关键技术.这得益于硅基光子器件与现代的互补金属氧化物半导体工艺相兼容,能够实现廉价的大规模集成.然而,由于受硅材料本身的光...
关键词：硅基光子学 石墨烯光子学 集成光子学 
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