硅谐振微传感器

作品数：3被引量：7H指数：1
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基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计被引量：5
《现代电子技术》2008年第13期150-153,共4页何孟珂 周浩敏 郝欣 
航空基金资助(04I51065)
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率...
关键词：硅谐振微传感器 频率扫描 数字信号处理 FPGA 
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