黑色金属合金

作品数：45被引量：60H指数：5
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一种用于淀积铁磁膜的新型磁控靶研究被引量：3
《真空》1993年第6期49-52,共4页张怀武 刘颖力 
本文给出了一种新型铁磁靶设计方法，并用设计的 ＤＣ磁控靶成功地制备出了用于碰头的 ＦｅＳｉＡｌ合金薄膜，性能分析表明用该靶制备的膜可满足 ＭＩＧ磁头的指标。
关键词：磁控靶 黑色金属合金 铁磁膜 磁头 
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