辅助气体

作品数:50被引量:138H指数:8
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相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
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相关机构:发那科株式会社中国科学院北京北方华创微电子装备有限公司厦门大学更多>>
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辅助气体对激光打孔的影响被引量:10
《激光杂志》2000年第6期44-46,共3页王智勇 陈铠 左铁钏 Th.Beck H.Weber 
北京市科技新星计划资助
辅助气体是影响激光打孔质量的一个重要因素。本文通过实验分析了辅助气体类型、气压对不同的材料激光打孔的孔径和孔壁粘滞物吹除的影响。提出了激光打孔中有效利用气压的概念 ,指出可采用直径非常小的孔来产生很强的气流以提高有效利...
关键词:激光打孔 辅助气体 喷嘴 
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