高纯氢气

作品数：44被引量：39H指数：4
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高效钯膜氢气纯化器及其应用被引量：1
《工厂动力》2010年第3期44-45,共2页徐恒泳 
众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气（99．99999％），主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大量的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。通过在多...
关键词：高纯氢气 纯化器 应用 钯膜 多孔支撑体 金属钯 钯复合膜 半导体 
高纯氢气纯化装置
《工厂动力》1995年第2期45-48,共4页孔照荣 
关键词：氢气 纯化 工艺 氢 纯度 
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