云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 氨基乙酸

氨基乙酸: 作品数：228被引量：306H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：化学工程理学更多>>; 相关作者：谢志鹏杨斌高琛刘柏雄鲍骏更多>>; 相关机构：元氏鑫宏升医药科技有限公司江西理工大学河南红东方化工股份有限公司东南大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金国家重点基础研究发展计划博士科研启动基金更多>>

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氨基乙酸-H_2O_2体系抛光液中铜的化学机械抛光研究被引量：5: 《摩擦学学报》2008年第4期366-371,共6页张伟路新春刘宇宏潘国顺雒建斌; 国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716201);国家自然科学基金委与广东省政府自然科学联合基金资助项目(2003CB716201);国家自然学基金资助项目助项目(50775122); 在CP-4型CMP试验机上采用5μm厚的铜镀层片研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为,分别采用Sartorius 1712MP8型电子天平和WYKO MHT-Ⅲ型光干涉表面形貌仪检测抛光去除率和抛光后表面粗糙度,用CHI660A型电化学工作站的...; 关键词：化学机械抛光动电位极化扫描氨基乙酸腐蚀坑