半导体表面

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微机程序数控波长扫描单色仪及其在半导体光电化学中的应用
《仪器仪表学报》1986年第3期319-324,共6页蔡生民 张久俊 郭焕显 
一、前言半导体光电化学是近年来发展起来的边缘学科,对太阳光能直接转换成电能和化学能,半导体表面的电化学处理均起着重要的指导作用〔1〕、〔2〕。在研究工作中需要用不同波长(λ)的光对电极进行反复照射。其波长变化的范围,速度及...
关键词：半导体光电化学 单色仪 波长扫描 半导体电极 太阳光能 对电极 电化学处理 半导体表面 量子效率 禁带 
电子束电压衬度机理及其应用
《仪器仪表学报》1983年第3期81-86,共6页曹普光 
扫描电子显微镜(SEM)广泛地利用于半导体表面局部电位的测定,电学功能试验和大规模集成电路失效分析。本项工作首先叙述电子束与集成电路的相互作用,二次放射机理和电压衬度的测量原理。本文讨论了各种电压衬度法,也叙述了一种新的电压...
关键词：衬度 电子束能量 二次电子 失效分析 半导体表面 性能测量 电位分布 局部电位 扫描电子显微镜 测量原理 
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