云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 半导体硅

半导体硅: 作品数：284被引量：363H指数：10; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：朱自强郁可李伟华黄雁君屠海令更多>>; 相关机构：东南大学上海集成电路研发中心中国科学院华东师范大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>

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进电方式对高阻半导体硅放电加工影响研究被引量：2: 《中国机械工程》2012年第6期725-728,共4页刘志东曹银风邱明波田宗军黄因慧; 国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C); 进行了高阻半导体硅的放电铣削加工实验,通过检测脉冲放电电压和电流波形,对固定、旋转、随动三种进电方式下的加工情况进行了对比。结果表明:固定进电方式下,由于进电点会逐步生成不导电的钝化膜,接触电阻不断增大,回路中的总电阻不断...; 关键词：电火花高阻硅进电方式电阻随动进电

高阻半导体硅振动式深小孔放电加工研究: 《中国机械工程》2011年第7期767-771,共5页曹银风刘志东邱明波田宗军黄因慧; 国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划项目(BE2009161); 开展了高阻半导体硅深小孔放电加工试验研究,通过在工件硅上附加机械振动,研究振幅和频率对其放电穿孔加工效率的影响规律。试验表明:随着振幅的增大,加工效率先增加后降低;随着频率的增加,加工效率逐渐提高。原因在于随着振幅的增大,...; 关键词：电火花高阻硅机械振动穿孔加工高深径比

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