半导体压力传感器

作品数:39被引量:20H指数:2
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半导体压力传感器研制现状与开发动向被引量:2
《传感器世界》2007年第7期10-13,共4页宋晓辉 任道远 
随着IC制造技术的迅速发展,硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐,对其开发研制相当盛行。本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器的最近研制现状与开发动向。
关键词:IC(集成电路) 集成化 压阻效应 非易失 RAM(随机存取存储器) 
发明与专利
《传感器世界》2007年第3期52-53,共2页
影像传感器具感测区防护封装结构;信号处理电路、图像传感器IC和信号处理方法;振动陀螺速度传感器;半导体压力传感器;具有第三阶弹性常数的热稳定的表面声波传感器……
关键词:半导体压力传感器 表面声波传感器 图像传感器 专利 发明 信号处理电路 信号处理方法 三阶弹性常数 
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