半导体压力传感器

作品数：39被引量：20H指数：2
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半导体压力传感器研制现状与开发动向被引量：2
《传感器世界》2007年第7期10-13,共4页宋晓辉 任道远 
随着IC制造技术的迅速发展,硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐,对其开发研制相当盛行。本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器的最近研制现状与开发动向。
关键词：IC(集成电路) 集成化 压阻效应 非易失 RAM(随机存取存储器) 
发明与专利
《传感器世界》2007年第3期52-53,共2页
影像传感器具感测区防护封装结构；信号处理电路、图像传感器IC和信号处理方法；振动陀螺速度传感器；半导体压力传感器；具有第三阶弹性常数的热稳定的表面声波传感器……
关键词：半导体压力传感器 表面声波传感器 图像传感器 专利 发明 信号处理电路 信号处理方法 三阶弹性常数 
一种半导体压力传感器被引量：5
《天津大学学报》2005年第10期901-903,共3页张为 姚素英 张生才 张维新 
天津市自然科学基金资助项目(033600811).
根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器——绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,...
关键词：绝缘体上硅 高温压力传感器 微机械加工 
半导体压力传感器的制造方法被引量：1
《国外传感技术》2005年第2期46-47,共2页杨清风 
原先的老式半导体压力传感器是按照薄膜的膜片受压变化来进行压力检测的。这种半导体压力传感器的制造方法是在硅片的整个表面上形成埋入氧化膜．构成上硅层、埋入氧化膜、下硅层3层结构，然后在上硅层钻出通向埋入氧化膜的内孔，并由...
关键词：半导体压力传感器 制造方法 掩模体 硅基片 
IC化半导体压力传感器的最新动向
《国外传感技术》2005年第1期i002-i002,共1页
本文介绍IC化半导体压力传感器的开发动向，美国IC化半导体压力传感器的实用化现状，日本IC化半导体压力传感器的开发现状，指明IC化压力传感器的用途及面临和期待解决的问题。
关键词：IC 半导体 压力传感器 开发现状 实用化 
F0066半导体压力传感器的温度补偿电路
《国外传感技术》2004年第2期71-71,共1页丁力 杨清风 
关键词：半导体压力传感器 温度补偿 扩散电阻 压阻系数 
半导体压力传感器的压力测定方法
《国外传感技术》2004年第1期2-3,共2页石立峰 吴仲达 
关键词：半导体压力传感器 压力测定 大气压力 被测压力 传感器输出 
用神经网络消除温度对传感器输出的影响被引量：3
《传感器技术》2004年第1期30-31,34,共3页蔡兵 
针对温度对半导体压力传感器输出影响的问题,提出一种新的消除方法———神经网络法,建立了2-6-1神经网络结构,并利用神经网络的学习记忆功能,消除了温度对传感器输出的影响,实际运行结果表明,该方法具有实用、高效等特点。
关键词：神经网络 半导体压力传感器 学习记忆功能 温度干扰 
半导体压力传感器的温度补偿电路
《国外传感技术》2002年第5期171-171,共1页丁力 
关键词：零点温度漂移 半导体压力传感器 温度补偿 电路 
半导体压力传感器的压力测定方法
《国外传感技术》2002年第3期97-97,共1页安敏 
关键词：半导体 压力传感器 压力 测定方法 
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