薄膜电阻器

作品数：32被引量：29H指数：3
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DC-18GHz微波功率薄膜电阻器的设计及制作被引量：5
《微波学报》2011年第1期74-77,共4页司旭 张万里 蒋洪川 彭斌 王超杰 李言荣 
四川省支撑计划(2010GZ0156);电子薄膜与集成器件国家重点实验室基金(KFJJ200804)
设计并仿真了频率范围为DC-18GHz,功率负载为20W的微波功率薄膜电阻器,根据仿真结果,采用反应磁控溅射法制备了TaN微波功率薄膜电阻器。仿真结果表明,所设计的薄膜电阻器在DC-18GHz频率范围内,电压驻波比均小于1.2,加载20W微波功率时,...
关键词：薄膜电阻器 驻波比 TaN薄膜 
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