薄膜电阻器

作品数:32被引量:29H指数:3
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退火温度对氮化钽薄膜电阻器性能的影响被引量:6
《广州化工》2018年第14期39-42,共4页杨俊锋 丁明建 冯毅龙 赖辉信 庄严 
广州市珠江科技新星项目(201610010049)
通过反应直流磁控溅射法在Si片表面沉积氮化钽(Ta N)电阻薄膜,并在空气中进行退火,系统研究了退火温度对薄膜的物相组成、微观形貌、电阻性能的影响。结合X射线衍射(XRD)物相分析、扫描电子显微镜(SEM)形貌分析及电阻性能测试结果,Ta N...
关键词:电阻器 薄膜 热处理 氮化钽 
薄膜电阻器提供不渗透硫的解决方案被引量:3
《今日电子》2009年第11期29-30,共2页Brian Mccabe Kory Schroeder 
当前的小型化趋势将电阻器技术推到了极限。例如,0201尺寸的片状电阻器仅封装就大约占到了元件总成本的60%。对某些在电路板上同一相邻位置使用相同电阻值的设计来说,片状元件阵列可以帮助缓解布局和封装问题。不过,这并不适用于所...
关键词:薄膜电阻器 渗透 片状元件 片状电阻器  小型化 总成本 电阻值 
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