薄膜集成电路

作品数：21被引量：14H指数：2
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薄膜集成电路行业化学有害因素的危害特征及防控效果分析
《中国卫生工程学》2019年第2期171-174,共4页周伟 翁少凡 谢子煌 李天正 左弘 
深圳市科技计划项目(JCYJ20160429093303391)
目的对薄膜集成电路行业化学有害因素的危害特征及防控措施进行调查与分析,为该行业的化学危害风险管理与控制提供依据。方法通过开展职业卫生调查、化学有害因素识别和监测等方法,对薄膜集成电路行业生产过程中产生的化学有害因素、危...
关键词：薄膜集成电路 化学有害因素 控制效果 
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