氮化硅粉末

作品数：25被引量：55H指数：5
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氮化硅粉末制备新技术
《陶瓷》1989年第3期52-56,共5页袁向东 李玉英 吴翠珍 
本文介绍了氮化硅陶瓷对氮化硅粉末烧结原料的特性要求，述评了SiO2还系氮化法，硅亚胺热分解法、高温气相反应法，激光气相反应法和等离子体气相反应法等五种氮化硅粉末的制备新技术。
关键词：硅粉 氮化硅陶瓷 制备 粉末 光气 亚胺 SIO2 气相反应法 热分解法 
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