NEG

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Research Progress on Planar DC Magnetron Sputtering Non-evaporable Getter (NEG) Films
《IMP & HIRFL Annual Report》2022年第1期298-298,共1页Wei Ningfei Meng Jun Luo Cheng Yang Weishun Xie Wenjun Jiao Jiqiang Ma Xiangli 
Based on the technology of DC magnetron sputtering,the Vacuum Technology Group at IMP have developed a large-scale multi-target magnetron sputtering coating device.As shown in Fig.1,it is mainly composed of four parts...
关键词：COATING TEMPERATURE SYSTEM 
6-39 Design of NEG Coating Equipment for Dipole Vacuum Chamber
《IMP & HIRFL Annual Report》2014年第1期294-295,共2页Cheng Jinze Meng Jun Ma Xiangli Hu Zhenjun 
A novel technique is developed to turn the gas-load of the slender vacuum pipes into NEG (non-evaporationgetters) pump[1]. In the technique, the NEG films are grown by DC (Direct-Current) reactive magnetron sputtering...
关键词：DESIGN NEG COATING 
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