氮化铝陶瓷

作品数：263被引量：631H指数：12
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掺杂CeO2对流延成型制备的氮化铝陶瓷性能的影响被引量：2
《化学与生物工程》2019年第8期6-11,共6页桂如峰 邹阳 李晨辉 刘江安 贺智勇 史玉升 
国家科技重大专项02专项(2013ZX02104001);国家自然科学基金面上项目(51372093);湖北省博士后科技活动项目(0106110094)
以氮化铝(AlN)粉末为原料,掺杂10%~15%的CeO2,采用流延成型工艺制备AlN陶瓷生坯;排胶后在氮气气氛下1775℃保温4h,采用常压烧结制备静电卡盘用AlN陶瓷(体积电阻率为10^11~10^9Ω·cm)。研究了排胶升温速率对生坯的表面形貌以及CeO2掺杂...
关键词：氮化铝(AlN)陶瓷 CeO2掺杂 氧化铈 流延成型 体积电阻率 
TiN/AlN复合陶瓷的电性能被引量：5
《半导体技术》2014年第3期204-209,共6页朱江 李晨辉 刘凯 史玉升 贺智勇 张启福 
国家重大科技专项资助项目(2013ZX02104001)
以AlN粉为原料,TiN粉为调节剂,添加稀土金属(Sm2O3,Y2O3,)烧结助剂在N2气氛下,采用放电等离子烧结技术在1 700℃,25 MPa下保温10 min制备了相对密度高于98%的AlN陶瓷。引入导电相TiN对AlN陶瓷电性能进行改性,AlN复合陶瓷的相对密度随着...
关键词：氮化铝陶瓷 氮化钛 Re2O3 电性能调节剂 体积电阻率 
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