压电厚膜

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相关领域:一般工业技术电子电信电气工程更多>>
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相关机构:大连理工大学华中科技大学西安交通大学山东轻工业学院更多>>
相关期刊:《微纳电子技术》《机电工程技术》《材料导报》《光学精密工程》更多>>
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基于电流体喷印压电厚膜的力感知探针
《振动.测试与诊断》2025年第1期26-31,197,共7页王大志 王伦翔 李泽飞 陈相吉 郑晓虎 刘梦哲 梁世文 孔令杰 唐彬 
国家重点研发计划资助项目(2018YFA0703204);国防基础科研计划资助项目(JCKY2020204B004);国家自然科学基金面上资助项目(51975104,62074138)。
为了准确感知探针接触,降低探针损坏更换频率,设计并制作了一种基于压电效应的力感知探针。利用有限元软件优化设计压电厚膜感知层的结构尺寸,并基于电流体喷印工艺完成曲面共形压电厚膜的制备。搭建力感知探针标定系统,分析推导出灵敏...
关键词:曲面压电厚膜 力感知探针 电流体喷印 标定 
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