压电厚膜

作品数：25被引量：51H指数：4
导出分析报告
相关领域：一般工业技术电子电信电气工程更多>>
相关作者：王大志张海波姜胜林曾亦可任巍更多>>
相关机构：大连理工大学华中科技大学西安交通大学山东轻工业学院更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《机电工程技术》《材料导报》《中国科学技术大学学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金济南市科技发展计划项目国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于电流体喷印压电厚膜的力感知探针
《振动.测试与诊断》2025年第1期26-31,197,共7页王大志 王伦翔 李泽飞 陈相吉 郑晓虎 刘梦哲 梁世文 孔令杰 唐彬 
国家重点研发计划资助项目(2018YFA0703204);国防基础科研计划资助项目(JCKY2020204B004);国家自然科学基金面上资助项目(51975104,62074138)。
为了准确感知探针接触,降低探针损坏更换频率,设计并制作了一种基于压电效应的力感知探针。利用有限元软件优化设计压电厚膜感知层的结构尺寸,并基于电流体喷印工艺完成曲面共形压电厚膜的制备。搭建力感知探针标定系统,分析推导出灵敏...
关键词：曲面压电厚膜 力感知探针 电流体喷印 标定 
微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究被引量：2
《机电工程技术》2022年第1期9-11,57,共4页袁钰恒 赵奎鹏 宗浩然 王大志 
采用ANSYS有限元软件建立了微型压电厚膜执行器的多物理场耦合仿真模型,求解了微型压电厚膜执行器B(0,3)模态的共振频率为80673 Hz,在15 V交流电压下的振幅为210 nm。同时通过磁控溅射、电流体喷射打印工艺,制备了外径为4.5 mm的环形PZ...
关键词：压电执行器 PZT厚膜 ANSYS仿真 电流体喷射打印 
曲面压电厚膜电流体喷印制备研究
《机电工程技术》2020年第9期45-46,200,共3页姜重阳 赵奎鹏 王柱 袁钰恒 宗浩然 王大志 
压电厚膜作为功能部件被广泛应用在传感、执行器件中,主要为平面膜结构。但在医学中的聚焦超声换能器、海洋中的水听器等,需要应用曲面压电陶瓷厚膜以实现能量聚焦、信号放大。基于电流体喷印技术研究曲面压电厚膜的制备工艺,设计搭建...
关键词：电流体 喷印 PZT厚膜 压电 
不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试被引量：2
《机电工程技术》2019年第7期32-34,共3页周鹏 王大志 石鹏 赵奎鹏 姜重阳 王柱 
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081);精密测试及仪器国家重点实验室开放基金资助项目(pilab1804);中央高校基本科研业务费资助项目(DUT18LAB17)
制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的导电性,可以作微悬臂梁传感器的下电极,采用模板辅助电雾化沉积技术在不锈钢微悬臂梁基底上制备了厚度为20...
关键词：微悬臂梁传感器 PZT厚膜 电雾化沉积 模板辅助 不锈钢 
不锈钢基压电厚膜俘能器的制作与性能测试
《压电与声光》2016年第2期203-206,共4页殷小林 董维杰 王大志 杨淑 
国家自然科学基金资助项目(61340052)
由于硅基底断裂韧性低及压电厚膜有利于提高俘能器输出功率,因此,该文提出在304不锈钢基底上制备PZT压电厚膜俘能器。304不锈钢薄片既作为基底又作为下电极,金属Pt/Ti结构作为上电极。不锈钢基底厚为30μm,采用电流体驱动雾化沉积制备5...
关键词：压电俘能器 雾化沉积 悬臂梁 柔性基底 不锈钢 
8×8阵列压电厚膜驱动变形镜的制备及性能研究
《压电与声光》2013年第1期66-69,共4页刘相果 胡东霞 冯小东 曾祥明 
利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100mm×100mm×0.50mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析。结果表明,变形镜的初始面形...
关键词：大尺寸厚膜压电陶瓷 流延工艺 变形镜 闭环控制 
用于MEMS变形镜的双电极压电厚膜致动器
《纳米技术与精密工程》2012年第1期20-23,共4页马剑强 李保庆 张晋弘 许晓慧 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027)
提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷(PZT)厚膜致动器.采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列.测试结果表明,致动器在100 V工作电压下的冲程约为6.6μm,...
关键词：变形镜 压电陶瓷(PZT) 致动器 双电极 
PZT压电厚膜用PT过渡层的制备及表征
《纳米科技》2011年第5期28-31,72,共5页段中夏 刘俊标 韩立 
中国博士后基金项目（No.20100470546）
用溶胶-凝胶法在Pt（111）／Cr／SiO2／Si衬底上制备了（100）取向PT过渡层，探讨了制备工艺条件对胛过渡层成膜情况的影响，结果表明，快速热处理工艺制备的PT过渡层结晶较好，而热解时间过长和退火时间过长都会引起铅的损失，造成TiO...
关键词：PT 过渡层 (100)取向 制备工艺 PZT 
压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第5期427-431,共5页马剑强 李保庆 许晓慧 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027);中国科学技术大学青年科学基金资助项目(2090090002)
研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面...
关键词：微变形镜 压电厚膜 高刚度 
高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究
《黑龙江大学工程学报》2011年第3期76-84,共9页曹茂盛 路冉 赵全亮 刘红梅 邱成军 袁杰 
国家自然科学基金面上项目(50742007;50872159);863项目(2007AA03Z103);声纳与水声技术国防科技重点实验室基金项目(914C24KF0901)
运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的...
关键词：PZT 厚膜 溶胶-凝胶法 MEMS 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部