微变形镜

作品数：25被引量：40H指数：5
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科研工作会议典型发言：浅谈科研团队建设
《汉口学院学报》2014年第4期64-64,共1页
汉口学院机电工程学院成立以来，全院教师团结一心，科研工作取得明显进展。近3年来学院已承接4项横向项目，即与中国地质大学签订的“基于MEMS微变形镜的波前校正技术研究”、与华中科技大学光学与电子信息学院签订的“光学探测系统设...
关键词：科研工作 团队建设 机电工程学院 光学探测系统 中国地质大学 华中科技大学 波前校正 微变形镜 
基于双端固定梁与曲面电极的异面微致动器静态特性
《大气与环境光学学报》2014年第4期323-328,共6页马洪锋 鄢波 魏高尧 隋成华 
为提高在微变形镜应用中静电微致动器的冲程,设计并讨论了一种基于双端固定梁为上电极、曲面电极为下电极的异面微致动器。利用Rayleigh-Ritz方法,求解了致动器的静态特性。计算过程中,考虑了梁长度增大引起的抗拉应力和器件制造过程中...
关键词：大冲程驱动器 曲面电极 MEMS 微变形镜 
控制微变形镜稳定固体激光器输出的研究
《电光与控制》2013年第12期77-79,共3页许泽帅 羊毅 兰卫华 董涛 
介绍了无源共轴球面腔闭合条件的一般性矩阵表示。针对固体激光器光腔中热透镜效应,利用Matlab符号运算功能,得出热透镜光腔的闭合条件;建立了自行闭合的热稳腔模型,将光腔的闭合条件和热透镜效应模型结合,随着泵浦功率的提高,通过控制...
关键词：固体激光器 热透镜效应 共轴球面腔 闭合腔 自行闭合 
MEMS微变形镜测试技术及算法研究被引量：1
《光学技术》2012年第2期185-190,共6页陈家凤 肖风华 
航天支撑技术基金项目(041.3JW05);中南民族大学自然科学基金(YZY06003)
介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测...
关键词：光学测量 微变形镜 频闪成像 亚像素定位 5步相移干涉 相位解缠 
压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第5期427-431,共5页马剑强 李保庆 许晓慧 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027);中国科学技术大学青年科学基金资助项目(2090090002)
研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面...
关键词：微变形镜 压电厚膜 高刚度 
新型分立倾斜式微变形镜研究被引量：5
《中国激光》2011年第7期253-258,共6页汪为民 陶逢刚 颜胜美 张建飞 姚军 
国家自然科学基金(60978051)资助课题
基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺,提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计,并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对应一个驱动器,实现了连续面形的分立驱动,并且可有效释放工艺过程中产生的残余应力,从而降低镜面的翘...
关键词：光学器件 变形镜 微机电系统 分立倾斜式 驱动器 表面微加工工艺 
内腔补偿激光模态实验研究
《武汉工业学院学报》2010年第2期52-54,58,共4页李捷 肖娟 
首先根据模态耦合理论分析了热畸变对光束质量的影响,并用数值方法得到理想基模和畸变基模耦合幅度与泽尼克畸变之间的关系图。然后采用一种新型的MEMS微变形反射镜搭建了一个内腔自适应光学实验系统,用来对热畸变激光光束模态进行补偿...
关键词：自适应光学 激光模态补偿 微变形镜 
MEMS微变形镜单元间耦合的优化控制研究
《中国科学技术大学学报》2010年第4期395-399,共5页刘勇 许晓慧 李保庆 张晋弘 褚家如 
国家自然科学基金(50605061)资助
通过计算MEMS微变形镜校正畸变波面后的残余误差,研究不同单元间耦合情况对变形镜校正效果的影响.针对连续镜面MEMS微变形镜单个致动器单元工作时,相邻及以外的单元都会有一个变形量,用耦合系数来表征单元工作时对相邻单元变形量的影响...
关键词：MEMS 变形镜 影响函数 耦合系数 
压电微变形镜多路复用驱动技术的研究被引量：2
《压电与声光》2010年第2期321-324,共4页马剑强 许晓慧 李保庆 张晋弘 褚家如 
从电路模型上分析多路复用技术在压电微变形镜控制中的驱动特性,设计了基于双MOSFET开关的驱动电路,并对致动器的电压保持能力和抗干扰能力做了测试。实验和分析表明,一个高压运放驱动25个压电陶瓷(PZT)致动器时,工作频率可达400 Hz,致...
关键词：自适应光学 压电变形镜 多路复用技术 
用于激光二极管抽运固体激光器热畸变补偿的MEMS微变形镜设计被引量：4
《光学学报》2009年第4期853-858,共6页谭佐军 陈海清 康竟然 张坤 
国家自然科学基金(10476010)资助项目
以MEMS微变形镜驱动方式的选取为出发点,从光学特性和力学特性两方面对MEMS微变形镜进行分析,从中得出相关结构参数对微变形镜性能的影响关系,并在此基础上结合补偿激光二极管抽运固体激光器(DPL)热畸变的使用要求设计了一种新型MEMS连...
关键词：自适应光学 微变形镜 激光热畸变 光束质量 
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