变形镜

作品数：251被引量：653H指数：13
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用于大调制量音圈变形镜的驱动器优化设计
《液晶与显示》2025年第4期555-565,共11页葛久捌 李明星 许莎莎 王辰 周颖 俞琳 吴晶晶 胡立发 
国家自然科学基金(No.61475152,No.62205127)。
音圈变形镜因其大调制量和无磁滞等优势,作为自适应次镜在大口径地基天文光学望远镜中应用广泛。本文提出了一种用于37单元大调制量音圈变形镜的音圈驱动器优化方法,并进行了仿真和验证。针对动磁式结构,给出了音圈驱动器的电磁力理论公...
关键词：自适应光学 变形镜 音圈驱动器 大气湍流像差校正 
用于光刻机物镜像差补偿的透射式变形镜设计
《压电与声光》2024年第6期995-1000,共6页邹有云 布一帆 杜文杰 邓杰 马剑强 
国家自然科学基金资助项目(52475109)。
针对深紫外光刻机物镜工作一段时间后存在的低阶像差问题,提出了一种大口径、小变形量、高精度的透射式变形镜结构。通过有限元对变形镜的校正性能进行仿真,确定了致动器数目、玻璃厚度、内外环的宽度。仿真结果表明,重构Z3-Z9项Zernik...
关键词：DUV光刻机物镜 变形镜 像差校正 
变形镜及其控制算法研究进展
《光通信研究》2024年第2期100-108,共9页梁静远 王海蓉 张娜 张晓丹 赵黎 王惠琴 王怡 柯熙政 
陕西省重点产业创新资助项目(2017ZDCXL-GY-06-01);西安市科技创新引导资助项目(201805030YD8CG14(12))。
【目的】变形镜(DM)是自适应光学系统中实现波前校正的关键器件,其性能直接决定了系统的波前畸变校正能力。通过研究DM及其控制算法,可以不断改进自适应光学系统的校正能力。该研究一方面可以提高DM的精度和响应速度,使其更好地校正各...
关键词：变形镜 控制算法 自适应光学 
高带宽压电片变形镜的动力学仿真与优化方法研究
《工程设计学报》2024年第1期130-136,共7页杨开科 罗俊鹏 马文静 耿远超 王德恩 袁强 
中国工程物理研究院院长基金自立项目(22-YZJJ-10-01);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年成长基金项目(RCFCZ6-2022-3)。
为进一步提高压电波前校正器的响应速度和轻量化程度,对面向高动态形状控制的压电片变形镜的动力学仿真与优化方法进行了研究。首先,基于压电片变形镜的参数化有限元模型,提出了高效、高精度的电-力耦合动力学仿真分析方法。然后,通过...
关键词：高带宽压电片变形镜 电-力耦合动力学仿真 正交遍历 多维设计参数 
高波前拟合精度的紧凑型音圈变形镜被引量：1
《中国光学（中英文）》2023年第6期1463-1474,共12页胡立发 姜律 胡启立 徐星宇 黄杨 吴晶晶 俞琳 
国家自然科学基金(No.61475152);光电对抗测试与评估重点实验室开放基金(No.GKCP2021001)。
为了满足小型化自适应光学系统校正波前畸变的需求,基于系统理论分析设计了一种使用微型音圈驱动器的变形镜。使用电磁理论和有限元方法优化了微型音圈驱动器的结构参数。从热变形、共振频率、耦合系数等多个参数的角度对变形镜进行了...
关键词：自适应光学 变形镜 音圈驱动器 多参数分析 
基于图像处理的人眼离焦量的动态补偿系统
《激光与光电子学进展》2023年第24期252-257,共6页张中祥 许崇祥 燕卫江 苏宇锋 贾志刚 
NSFC-河南联合基金项目(U1904169)。
目前常用的屈光不正的矫正方式都是针对人眼像差的某一静态值进行矫正,无法对人眼像差的动态变化进行有效矫正。为了解决这一问题,开发了一种基于图像处理的人眼离焦量的动态补偿系统,其以红外相机和图像处理程序组成的瞳孔大小动态测...
关键词：人眼像差 动态矫正 图像处理 透射式变形镜 
波前校正的变论域模糊控制方法
《激光与红外》2023年第11期1764-1770,共7页张亦睿 陈波 周益林 贾晶晶 李赵仪 
河北省自然科学基金项目(No.F2019209443);河北省教育厅科技计划项目(No.QN2018039)资助。
自适应光学校正技术中常用的PID控制依赖于变形镜的响应模型,响应模型易受扰动影响因此标定过程较为复杂。针对此问题提出一种不依赖变形镜响应模型的变论域模糊控制方法,将哈特曼重构波前中提取的波面评价指标的残差参数与残差差分参...
关键词：自适应光学 波前校正 变形镜 变论域 模糊控制 
基于RUN优化算法的波前校正系统
《光子学报》2023年第11期230-238,共9页杨慧珍 臧祥栋 张之光 刘金龙 
国家自然科学基金(Nos.U2141255,11573011);金陵科技学院高层次人才研究项目(No.jit-rcyj-202301)。
将龙格-库塔优化器用于无波前探测自适应光学系统,提出基于RUN的自适应光学控制方法。以61单元变形镜为波前校正器件,不同湍流强度下的畸变波前为校正对象,建立基于RUN优化算法的自适应光学系统模型。对比分析基于RUN、PSO、DEA和GA等...
关键词：自适应光学 控制算法 龙格-库塔优化器 变形镜 波前校正 
抗拉可压型压电陶瓷性能测试及疲劳试验被引量：1
《强激光与粒子束》2023年第10期54-59,共6页李国会 李国荣 徐宏来 张秋实 杜应磊 时雪 向振佼 吴晶 
压电陶瓷是自适应光学系统中的核心器件变形镜的主要作动元件,其性能的好坏直接影响变形镜甚至自适应光学系统校正能力。开展了加载电压为±350 V、外形尺寸为5 mm×5 mm×38 mm的抗拉可压型压电陶瓷的性能测试,包括位移、迟滞、电容、...
关键词：压电陶瓷 自适应光学 变形镜 疲劳特性 压电效应 
基于K-L模式的SPGD控制算法波前校正被引量：5
《中国激光》2023年第14期133-139,共7页杨慧珍 苏杭 张之光 
国家自然科学基金(U2141255,11573011);江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(KTHY-058)。
随机并行梯度下降(SPGD)算法是无波前探测自适应光学(AO)系统最常用的控制算法,这种方法一般以变形镜的驱动电压作为控制参数。但随着变形镜单元数的增加,以变形镜驱动电压作为控制参数的AO系统的收敛速度将会大大降低,常采用模式法来...
关键词：光通信 自适应光学 随机并行梯度下降 变形镜 K-L模式 波前校正 
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