张晋弘

作品数：7被引量：14H指数：2
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：变形镜微变形镜超声换能器PZT厚膜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术机械工程理学更多>>
发文期刊：《压电与声光》《现代制造工程》《中国科学技术大学学报》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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用于MEMS变形镜的双电极压电厚膜致动器
《纳米技术与精密工程》2012年第1期20-23,共4页马剑强 李保庆 张晋弘 许晓慧 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027)
提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷(PZT)厚膜致动器.采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列.测试结果表明,致动器在100 V工作电压下的冲程约为6.6μm,...
关键词：变形镜 压电陶瓷(PZT) 致动器 双电极 
用于并行SPM的图像合成技术研究被引量：1
《现代制造工程》2010年第9期4-7,共4页孔雯 赵钢 刘勇 张晋弘 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50805137)
介绍一种针对并行扫描探针显微镜系统的图像合成算法。利用单探针原子力显微镜(AFM)系统模拟多探针扫描探针显微镜(SPM)并行扫描的图像特征。在图像处理上,将中值滤波器及各种边缘检测算法与成像系统集成在一起,以提高成像质量;同时,依...
关键词：并行扫描探针显微镜 图像平滑 边缘提取 相关法 图像合成 
MEMS压电超声换能器的结构设计及性能表征被引量：7
《压电与声光》2010年第4期604-607,共4页张晋弘 马剑强 李保庆 冯艳 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027)
介绍了一种新型的基于高性能锆钛酸铅(PZT)厚膜(压电常数d31约为-280 pm/V)的微机电系统(MEMS)压电超声换能器。基于有限元法,对该种压电超声换能器进行了模拟设计。优化结果表明,边长2 mm的超声换能器,优化后其共振频率约为170 kHz,有...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 厚膜 超声换能器 结构设计 
MEMS压电变形镜的有限元分析与结构优化设计被引量：2
《压电与声光》2010年第2期254-257,共4页张晋弘 许晓慧 冯艳 李保庆 马剑强 褚家如 
对PZT厚膜驱动的微变形镜（DM）进行了结构优化设计。基于有限元方法（FEM），分析了结构中各个参数对变形镜性能的影响。优化结果表明，单元边长1．75mm的驱动器，在最优参数下冲程可达2～5μm@100V，且加载镜面后驱动器的位移损失小...
关键词：PZT厚膜 变形镜 优化 
压电微变形镜多路复用驱动技术的研究被引量：2
《压电与声光》2010年第2期321-324,共4页马剑强 许晓慧 李保庆 张晋弘 褚家如 
从电路模型上分析多路复用技术在压电微变形镜控制中的驱动特性,设计了基于双MOSFET开关的驱动电路,并对致动器的电压保持能力和抗干扰能力做了测试。实验和分析表明,一个高压运放驱动25个压电陶瓷(PZT)致动器时,工作频率可达400 Hz,致...
关键词：自适应光学 压电变形镜 多路复用技术 
MEMS微变形镜单元间耦合的优化控制研究
《中国科学技术大学学报》2010年第4期395-399,共5页刘勇 许晓慧 李保庆 张晋弘 褚家如 
国家自然科学基金(50605061)资助
通过计算MEMS微变形镜校正畸变波面后的残余误差,研究不同单元间耦合情况对变形镜校正效果的影响.针对连续镜面MEMS微变形镜单个致动器单元工作时,相邻及以外的单元都会有一个变形量,用耦合系数来表征单元工作时对相邻单元变形量的影响...
关键词：MEMS 变形镜 影响函数 耦合系数 
采用相移干涉原理的平面度测量系统误差分析与校正被引量：2
《现代制造工程》2010年第3期100-103,共4页何向同 李保庆 许晓慧 马剑强 张晋弘 黄文浩 禇家如 
安徽省自然科学基金项目(09041207)
相移干涉法具有非接触、快速和高精度等优点,采用实验室组建的相移干涉系统进行平面度测量时,会产生280nm左右的测量误差。通过对系统误差的分析,发现由扩束器产生的波像差是测量误差的主要来源。为了校正该测量误差,采用Zernike多项式...
关键词：平面度 误差分析 误差校正 Zemike多项式 
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