殷小林

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：叉指电极压电厚膜压电层压电材料极化更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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不锈钢基压电厚膜俘能器的制作与性能测试
《压电与声光》2016年第2期203-206,共4页殷小林 董维杰 王大志 杨淑 
国家自然科学基金资助项目(61340052)
由于硅基底断裂韧性低及压电厚膜有利于提高俘能器输出功率,因此,该文提出在304不锈钢基底上制备PZT压电厚膜俘能器。304不锈钢薄片既作为基底又作为下电极,金属Pt/Ti结构作为上电极。不锈钢基底厚为30μm,采用电流体驱动雾化沉积制备5...
关键词：压电俘能器 雾化沉积 悬臂梁 柔性基底 不锈钢 
全叉指电极d_(33)模式压电悬臂梁俘能器研究被引量：2
《传感器与微系统》2015年第11期52-55,共4页杨淑 董维杰 王大志 殷小林 
国家自然科学基金资助项目(61340052)
为了克服表面叉指电极d33模式微机电系统（MEMS）悬臂梁振动俘能器中存在的压电材料极化不完全、存在弯曲电场等问题,提出了一种电极贯穿于整个压电层的全d33模式MEMS悬臂梁振动俘能器。根据机电耦合模型,分析了电极尺寸与材料厚度对压...
关键词：压电俘能器 叉指电极 d33模式 微机电系统 
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