压电直线电机

作品数：36被引量：99H指数：6
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相关领域：电气工程机械工程更多>>
相关作者：黄卫清王寅卢倩苏钊王道智更多>>
相关机构：南京航空航天大学华侨大学吉林大学上海大学更多>>
相关期刊：《安徽科技学院学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《振动．测试与诊断》更多>>
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微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究（英文）被引量：1
《新型工业化》2013年第7期78-85,共8页黄强先 宫二敏 韩彬 张维富 徐从裕 
Specialized Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education(No.20100111110011);National High Technology Research and Development Program of China(863 Project,Grant No.2008AA042409)
本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统。纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块。在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头...
关键词：精密仪器及机械 纳米三坐标测量机 压电直线电机 反馈控制 
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