压控电阻

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谐振敏感元件特性模拟器的研究
《传感技术学报》2011年第1期41-45,共5页邢维巍 杜艳 樊尚春 
国家自然科学基金谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器资助(60927005);国家自然科学基金微机械谐振子激励检测方法及阻尼控制研究资助(60804062)
为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验,以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究,设计了能够模拟压阻拾振式谐振敏感元件特性的电路。其中压阻变换是该电路实现的关键。文章采用模拟电路实现对谐振敏感元件的电阻拾振特性的...
关键词：谐振式传感器 硅微机械 压阻拾振 模拟器 压控电阻 硅微传感器 
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