压力式

作品数:382被引量:651H指数:11
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高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究被引量:3
《压电与声光》2016年第4期519-522,共4页陈高丁 李红浪 柯亚兵 朱波 陈淑芬 何世堂 
国家自然科学基金资助项目(11174318;11304346);国家高技术研究发展计划("八六三"计划)基金资助项目(SS2013AA041103);北京市科技计划课题基金资助项目(Z141100003814016)
为提高硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)压力传感器的灵敏度,研究了一种采用点压式压力传递结构的SAW压力传感器。理论上采用压电微扰理论和有限元法结合,使用有限元法获得压力作用下LGS基片的应力、应变,并将该应力、应变量代入叠加偏...
关键词:声表面波(SAW) 压力传感器 硅酸镓镧(LGS) 点压力式 
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