压力微传感器

作品数：13被引量：30H指数：4
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相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
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基于电容器的压力微传感器的研制被引量：3
《传感技术学报》2004年第2期329-330,341,共3页邓永和 王冬青 曾庆丰 
介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计 ,主要分析了其工作原理 ,论证了测量电路的可行性。最后提供了实验数据并和理论值进行了比较 ,讨论了产生误差的原因。
关键词：电容 压力微传感器 测量电路 实验 
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