云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 压阻检测

压阻检测: 作品数：13被引量：31H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>; 相关作者：朱楠蒋庄德赵立波于明智韩香广更多>>; 相关机构：中国科学院西安交通大学合肥工业大学中国科学院大学更多>>; 相关期刊：《红外与毫米波学报》《电子技术应用》《测试技术学报》《压电与声光》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金长江学者和创新团队发展计划更多>>

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两种基于MEMS谐振器的原子力显微镜探针: 《电子显微学报》2014年第2期137-141,共5页熊壮 Mairiaux E Walter B Faucher M Buchaillot L Legrand B; European Research Council;ERC/SMART(项目编号:No.210078); 目前商用原子力显微镜(AFM)大多使用的微悬臂式探针,力灵敏度可达到pN级别。然而受到工艺水平及检测方法限制,微悬臂谐振频率难以超过3.5 MHz,且Q值较低,制约了AFM的成像速度以及在液体中的成像效果。另外,光杠杆的检测方法无法与探针...; 关键词：原子力显微镜 MEMS谐振器静电执行与检测热执行压阻检测