压阻检测

作品数：13被引量：31H指数：3
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：朱楠蒋庄德赵立波于明智韩香广更多>>
相关机构：中国科学院西安交通大学合肥工业大学中国科学院大学更多>>
相关期刊：《红外与毫米波学报》《电子技术应用》《测试技术学报》《压电与声光》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金长江学者和创新团队发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
新型波纹流量计的设计与制造
《电脑知识与技术》2020年第2期227-229,243,共4页高文平 
天地(常州)自动化股份有限公司研发项目(编号：2017GY105)
设计、制造和评价了一种新型波纹结构的低流速流量计。对于小流量的测量,在给定的空气流量下,应提高敏感度相关因素、空气阻力和输出信号。该装置具有桨叶结构,在垂直气流作用下获得最大的空气阻力。采用波纹结构对输出信号进行了改进,...
关键词：流量计 波纹结构 微机电系统 压阻检测 
谐振式MEMS压力传感器的设计与分析被引量：7
《仪表技术与传感器》2019年第12期5-11,共7页许高斌 胡海霖 徐枝蕃 陈兴 马渊明 
装备预研教育部联合基金项目(JD2018XAZC0009);安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018)
提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器,该器件采取面内动平衡的振动模式,为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化,在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立,并利用MEMS有限元仿...
关键词：MEMS 谐振式压力传感器 静电激励 压阻检测 三维混合集成封装 
I^2形原子力显微镜探针设计优化被引量：2
《传感器与微系统》2019年第3期96-98,101,共4页熊壮 屈明山 张照云 杨荷 
国家自然科学基金资助项目(61404121)
针对基于微机电系统(MEMS)技术的I^2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I^2形探针应变分布的考...
关键词：原子力显微镜 微机电系统(MEMS)谐振器 热执行 压阻检测 微纳加工 
基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器（英文）被引量：1
《红外与毫米波学报》2015年第2期134-139,共6页韩建强 李森林 李琰 王小飞 冯日盛 
Supported by National Natural Science Foundation of China(61076110);Supported by Zhejiang Key Discipline of Instrument Science and Technology(JL130101)
报道了一种基于负电阻温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测SiO 2/Si3N4/SixNy微桥谐振器的新型红外探测器.微桥谐振器吸收的红外辐射引起微桥温度升高,激励电阻和检测电桥的阻值减小,使得恒定激励电压作用下激励电阻的静态功率和惠...
关键词：微桥谐振器 红外探测器 多晶硅电阻 负电阻温度系数 
两种基于MEMS谐振器的原子力显微镜探针
《电子显微学报》2014年第2期137-141,共5页熊壮 Mairiaux E Walter B Faucher M Buchaillot L Legrand B 
European Research Council;ERC/SMART(项目编号:No.210078)
目前商用原子力显微镜(AFM)大多使用的微悬臂式探针,力灵敏度可达到pN级别。然而受到工艺水平及检测方法限制,微悬臂谐振频率难以超过3.5 MHz,且Q值较低,制约了AFM的成像速度以及在液体中的成像效果。另外,光杠杆的检测方法无法与探针...
关键词：原子力显微镜 MEMS谐振器 静电执行与检测 热执行 压阻检测 
振动式微机械陀螺仪的研究现状与展望被引量：2
《固体电子学研究与进展》2013年第5期447-453,457,共8页张霞 
西安邮电大学青年教师科研基金项目(101-0477)
在多种类型的陀螺仪中,以振动式微机械陀螺仪最具代表性,且具有丰富的研究基础和很高的市场占有率。首先介绍了各种检测方式的振动式微机械陀螺仪的国内外研究现状,对各种类型陀螺仪的结构、加工工艺、工作方式、性能指标等进行了详细...
关键词：微电子机械系统 振动式陀螺仪 电容检测 压阻检测 压电检测 
微机械谐振器的快速测试方法被引量：1
《传感技术学报》2012年第2期198-201,共4页邢维巍 张晓灿 樊尚春 汤章阳 
国家自然科学基金项目(60927005;60804062)
为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,积分器和微处理器实现对微弱信号的有效检测。欧姆鉴相器以检测电阻为鉴相器,利用欧姆定律实现参考信号和...
关键词：微机械谐振器 压阻检测 微弱信号检测 互相关检测 信噪比 快速测量 
基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究
《传感器与微系统》2011年第12期47-49,53,共4页丁萃 成海涛 杨恒 
传统的纳米谐振器压阻检测在工艺上需解决制备结深浅、掺杂浓度高的薄层电阻的技术难题。基于MOS电容衬底压阻的谐振式纳米梁系统是一种新型的压阻检测方案,它通过将MOS电容耗尽层下的掺杂区用作力敏电阻,回避了制备浅结高浓度电阻的技...
关键词：纳米梁 谐振器 压阻检测 MOS电容 
静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究被引量：3
《测试技术学报》2010年第4期334-338,共5页王瑞荣 杜康 石云波 刘俊 
国家自然科学基金资助项目(50675212)
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器...
关键词：静电驱动 压阻检测 结构设计 微机械陀螺 加工工艺 
便携式输液泵采用的压阻检测IC
《电子技术应用》2008年第6期I0012-I0012,共1页
输液泵负责向病人循环系统输液，输入剂量应当低至100μl。通过测量液体压力可以对输液速度进行控制。便携式输液泵的一个重要特点是电池寿命的长短，因此低功耗元件与省电都是系统所期望的特性。
关键词：输液泵 便携式 IC 检测 压阻 循环系统 输液速度 液体压力 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部