张照云

作品数：16被引量：25H指数：3
导出分析报告
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：石英极板加速度计刻蚀结构层更多>>
发文领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《红外与激光工程》《中国惯性技术学报》《中国激光》更多>>
所获基金：中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金中国工程物理研究院科学技术发展基金中国人民解放军总装备部预研基金国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
低g值MEMS惯性开关研究进展
《太赫兹科学与电子信息学报》2024年第8期908-917,共10页熊壮 张凤田 谢晋 张照云 杨杰 赵宝林 
某专项基金资助项目(7090104050101)。
微机电系统(MEMS)惯性开关是集传感与执行为一体的无源电子器件,具有体积小、重量轻、易集成、加工一致性好、免装配等优势,在汽车工业、航空航天、武器装备等领域具有广阔的应用前景。低g值MEMS惯性开关的应用场景主要为飞行器加/减速...
关键词：微机电系统 惯性开关 低g值 微纳加工 
I^2形原子力显微镜探针设计优化被引量：2
《传感器与微系统》2019年第3期96-98,101,共4页熊壮 屈明山 张照云 杨荷 
国家自然科学基金资助项目(61404121)
针对基于微机电系统(MEMS)技术的I^2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I^2形探针应变分布的考...
关键词：原子力显微镜 微机电系统(MEMS)谐振器 热执行 压阻检测 微纳加工 
Z切石英单晶侧壁腐蚀形貌修平方法被引量：1
《中国惯性技术学报》2018年第3期405-410,共6页张照云 苏伟 唐彬 熊壮 许蔚 
中国工程物理研究院超精密实验室自主面上基金(ZZ16003)
石英单晶具有复杂的晶向,侧壁腐蚀形貌不规则。以制作规则的微惯性传感器关键结构单元—石英悬臂梁-质量块结构为研究目标,研究Z切石英单晶在氟化氢铵溶液中的侧壁腐蚀形貌演化规律具有重要意义。首先研究了侧向所露晶面的倾斜角度和腐...
关键词：微惯性传感器 湿法腐蚀 石英 腐蚀形貌 
环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）被引量：1
《微纳电子技术》2018年第5期351-358,共8页熊壮 屈明山 张照云 杨荷 
Chinese National Natural Science Foundation(61404121)
基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 谐振器 力灵敏度 原子力显微镜(AFM)探针 品质因数 谐振频率 
基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法
《强激光与粒子束》2018年第3期75-78,共4页袁明权 杨荷 张照云 熊壮 
中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2015B0403083)
针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5mm厚PET基底,并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。...
关键词：石墨烯 应变计 PET塑料 微纳加工 
Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性被引量：3
《中国惯性技术学报》2017年第2期256-259,264,共5页张照云 苏伟 唐彬 高杨 熊壮 陈颖慧 彭勃 
中国工程物理研究院超精密实验室自主面上基金(ZZ16003)
对Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性进行了研究。首先研究了Z向腐蚀速率随腐蚀温度和腐蚀液浓度的变化关系,然后研究了Z向表面腐蚀粗糙度随腐蚀深度、腐蚀液体浓度、腐蚀温度的变化规律,最后将石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性跟在BHF...
关键词：微电子机械系统 湿法腐蚀 Z切石英 表面粗糙度 
一种牺牲层工艺中金属电极保护方法研究（英文）
《电子器件》2017年第1期1-5,共5页张照云 唐彬 彭勃 陈颖慧 熊壮 苏伟 
The Laboratory of Precision Manufacturing Technology of CAEP under Grant(ZZ14007,ZZ16003)
为了在牺牲层工艺中保护金属电极不被腐蚀,提出了一种利用铝层保护金属电极的方法。在试验中采用了两种铝保护层厚度300 nm和1μm,在两种腐蚀液体4NH4F∶1HF∶2甘油和1HAC∶1NH4F中进行了试验,通过试验表明,铝金属层在两种腐蚀液体中都...
关键词：微电子机械系统 微加速度计 牺牲层刻蚀 金属电极保护 
高性能微惯性器件单片集成技术被引量：1
《太赫兹科学与电子信息学报》2014年第4期622-626,共5页张照云 施志贵 张慧 彭勃 
中国工程物理研究院科学技术发展基金重点课题(20111A0403017)
讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。
关键词：微机电系统 单片集成 微惯性器件 表面微机械加工 体硅微机械加工 
多孔硅中金属钯的电沉积与表征被引量：1
《电镀与涂饰》2014年第16期698-700,共3页邓建 胡睿 张会 张照云 杨玉青 
采用电沉积法对自制大深径比盲孔（直径7．7～7．8μm，深度78μm）多孔硅进行金属钯填充。镀液组成和工艺条件为：PdCl2 8．8g／L，KCl 15．0g／L，NH3·H2O 50mL／L，乙醇和水各50％（体积分数），pH8～9，电压15V，电流1．5mA，惰性...
关键词：多孔硅 盲孔 钯 电镀 
金属电极的腐蚀特性研究
《传感技术学报》2012年第3期326-328,共3页张照云 施志贵 高杨 席仕伟 彭勃 
中国工程物理研究院科学技术发展基金重点课题(20111A0403017)
对金属电极的腐蚀特性进行了研究。实验中设计了多种不同的金属电极,通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等条件,研究了金属电极的腐蚀特性。通过研究发现,电极的腐蚀特性跟电极材料、电极厚度、电极层数、电极的...
关键词：微机械系统 SOI MEMS 湿法腐蚀 金属电极 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部