SICN

作品数：43被引量：62H指数：4
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Ti/WSi/Ni ohmic contact to n-type SiCN
《Journal of Semiconductors》2010年第4期14-16,共3页程文娟 钱燕妮 马学鸣 
supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60606004).
Ti/WSi/Ni contact to n-type SiCN was investigated using the circular transmission line method. Current-voltage characteristics, X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectroscopy were used to characterize the cont...
关键词：SICN ohmic contact electrical property 
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