SI单晶

作品数：29被引量：24H指数：3
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Si晶片激光标识码制作技术的研究被引量：1
《激光与红外》2015年第4期349-352,共4页李悦 
Si片标识码在工艺加工管理中起重要作用。传统手写方式存在字体不美观、划痕深及硅渣污染等缺点。鉴于此,采用波长1060 nm光纤激光器进行激光标识码制作。研究中分别改变激光平均输出功率、脉冲频率及扫描速度,借助目视、金相显微镜及...
关键词：光纤激光器 激光打标 清晰度 硅渣污染 打标深度 SI单晶 
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