亚表面损伤层

作品数：13被引量：81H指数：5
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相关作者：郑红军王卓戴一帆卜俊鹏刘华松更多>>
相关机构：中国科学院中国工程物理研究院国防科学技术大学天津津航技术物理研究所更多>>
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固结磨料研磨K9玻璃亚表面损伤层深度测量方法研究被引量：3
《金刚石与磨料磨具工程》2014年第5期6-12,共7页戴子华 朱永伟 李军 高平 左敦稳 
国家自然科学基金(51175260);中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506)
光学工件研磨后亚表面损伤层深度是确定其抛光加工余量的重要依据。采用三种典型的光学材料亚表面损伤层深度测量方法(BOE分步腐蚀法、BOE差动腐蚀法、磁流变抛光斑点法),测量比较了固结磨料研抛垫(FAP)研磨后K9玻璃的亚表面损伤层厚度...
关键词：亚表面损伤 研磨 BOE分步腐蚀法 BOE差动腐蚀法 磁流变斑点法 
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