亚表面损伤层

作品数：13被引量：81H指数：5
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相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
相关作者：郑红军王卓戴一帆卜俊鹏刘华松更多>>
相关机构：中国科学院中国工程物理研究院国防科学技术大学天津津航技术物理研究所更多>>
相关期刊：《航空精密制造技术》《压电与声光》《电子工业专用设备》《人工晶体学报》更多>>
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β-Ga_(2)O_(3)晶体金刚石线锯切割的表面质量研究被引量：1
《人工晶体学报》2022年第12期2040-2047,2062,共9页李晖 高鹏程 程红娟 王英民 高飞 张弛 王磊 
本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga_(2)O_(3)单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga_(2)O_(3)单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001...
关键词：β-Ga_(2)O_(3)晶片 金刚石线锯 切割方向 亚表面损伤层 表面粗糙度 
石英玻璃片的化学抛光工艺研究被引量：2
《光学与光电技术》2022年第2期159-164,共6页汤英童 杨长城 
石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件。石英玻璃在加工过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题,化学抛光能有效消除石英玻璃的亚表面损伤。介绍了石英玻璃片的化学抛光工艺原理和过程,利用正交实验法优...
关键词：石英玻璃 亚表面损伤层 化学抛光 表面粗糙度 工艺 
化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究被引量：1
《红外与激光工程》2016年第12期1-5,共5页乔辉 陈心恬 赵水平 兰添翼 王妮丽 朱龙源 李向阳 
国家自然科学基金(11304335)
针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征,认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨颗粒直径的15~20倍...
关键词：化学机械抛光 亚表面损伤 椭圆偏振 少子寿命 碲镉汞 
固结磨料研磨K9玻璃亚表面损伤层深度测量方法研究被引量：3
《金刚石与磨料磨具工程》2014年第5期6-12,共7页戴子华 朱永伟 李军 高平 左敦稳 
国家自然科学基金(51175260);中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506)
光学工件研磨后亚表面损伤层深度是确定其抛光加工余量的重要依据。采用三种典型的光学材料亚表面损伤层深度测量方法(BOE分步腐蚀法、BOE差动腐蚀法、磁流变抛光斑点法),测量比较了固结磨料研抛垫(FAP)研磨后K9玻璃的亚表面损伤层厚度...
关键词：亚表面损伤 研磨 BOE分步腐蚀法 BOE差动腐蚀法 磁流变斑点法 
具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计
《红外与激光工程》2013年第10期2737-2741,共5页刘华松 刘杰 王利栓 姜玉刚 冷健 季一勤 
国家自然科学基金(61235011);天津市科委项目(10JCYBJC01500,12JCQNIC01200)
光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于...
关键词：激光减反膜 亚表面损伤层 椭偏光谱 折射率梯度 
低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术被引量：14
《强激光与粒子束》2010年第9期2181-2185,共5页马彬 沈正祥 张众 贺鹏飞 季一勤 刘华松 刘丹丹 王占山 
国家自然科学基金项目(10825521);上海市科委基金项目(07DZ22302);上海市博士后科研资助计划(10R21416000);江苏省现代光学技术省重点实验室开放课题(KJS0901)
制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了...
关键词：亚表面损伤层 共焦显微成像 光散射 化学腐蚀 刻蚀速率 
芯片背面磨削减薄技术研究被引量：8
《电子工业专用设备》2010年第1期23-27,共5页王仲康 杨生荣 
通过实验数据和实物照片列出了减薄工艺参数、检测结果;并结合实例研究了现代磨削减薄系统多采用的硅片自旋转磨削技术,探讨脆性材料进行延性域磨削的加工机理。
关键词：背面减薄 自旋转磨削 亚表面损伤层 总厚度误差 延性域 崩边 
磁流变抛光消除磨削亚表面损伤层新工艺被引量：34
《光学精密工程》2010年第1期162-168,共7页石峰 戴一帆 彭小强 王卓 
国家自然科学基金资助项目(No.50775215;No.50875256);部委级基金资助项目(9140A18070108KG0147)
针对传统光学加工技术难于精确测量和控制亚表面损伤的特点,提出用磁流变抛光替代研磨工序并直接衔接磨削的新工艺流程。采用自行研制的磁流变抛光机床KDMRF-1000和水基磁流变抛光液KDMRW-2进行了磁流变抛光去除磨削亚表面损伤层的实验...
关键词：磁流变抛光 亚表面损伤 光学加工 
压电石英亚表面损伤层分析
《压电与声光》2008年第2期246-247,共2页李世岚 包生祥 马丽丽 彭晶 杜支波 周勋 
国防科工委共性基金资助项目(G030103010404GK0002)
压电石英基片在加工过程中会带来表面/亚表面损伤,这种损伤会直接影响电子器件的性能、稳定性及寿命。该文采用扫描电镜(SEM)观测与X-射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离深度相结合的方法,定量分析了36°AT切压电石英基片亚表面损伤...
关键词：压电石英 化学机械抛光 亚表面损伤 
光学材料磨削加工亚表面损伤层深度测量及预测方法研究被引量：10
《航空精密制造技术》2007年第5期1-5,共5页王卓 吴宇列 戴一帆 李圣怡 
国家自然科学基金重点项目(编号50535020)
针对光学材料磨削加工引入的亚表面损伤层,综合使用磁流变抛光斑点技术和HF差动化学蚀刻速率法测量亚表面裂纹层深度和亚表面残余应力层厚度。建立了亚表面裂纹层深度与表面粗糙度间关系的理论模型,以实现亚表面裂纹层深度的准确预测,...
关键词：光学材料 磨削 亚表面损伤 印压 磁流变抛光 
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